Journal of Micro-Nanolithography MEMS and MOEMS

《微纳米光刻机MEMS和MOEMS杂志》（JM3）发表了有关光刻、制造、包装和集成技术的科学、发展和实践的论文，以满足电子、MEMS、MOEMS和光子学行业的需要。这类装置的范围很广，包括生物医学微装置、微流体、传感器和执行器、自适应光学和数字微镜。范围广泛，有助于促进期刊服务的社区之间的协同作用和利益。

J MICRO-NANOLITH MEM期刊全称叫什么?

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