《微电子工程》拥有开放获取的镜像期刊《微纳工程》，目标和范围相同，编辑团队、投稿系统和严格的同行评审。《微电子工程》是一本以电子、光子、生物电子、机电和流体设备及系统的制造为主要内容的纳米加工和纳米技术期刊。它还涵盖了“超过摩尔”和“超越摩尔”集成纳米电子/光子学和微/纳米/生物系统的不断扩展的跨学科领域。通过其独特的混合同行评审文章，评论，加速出版物，简短和技术说明，以及最新的研究新闻的关键发展，微电子工程提供了这一令人兴奋的，跨学科的和动态的学术界和工业界的研究人员的新领域的全面报道。该杂志涉及以下主题，并考虑的主要是实验工作，或理论/模拟工作直接联系和支持该领域的实验:微电子加工与材料(光刻、自组装、等离子体加工、金属化、3D集成、相关材料等)微/纳米工程/制造/技术/制造纳米电子和光子器件及其制备微系统、微器件(如传感器和纳米能源器件)及其制造微流体、生命科学设备/传感器，以及集成芯片实验室及其制造
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