IEEE《半导体制造学报》发表了与微电子和光子元件及集成系统(包括光伏器件和微电子机械系统)制造有关的最新进展。其主要目标是不断增强知识基础和改善整个供应链的制造实践，从制造到交付这些设备。感兴趣的领域包括过程集成、制造设备性能和建模、产量分析和增强、计量学、过程控制、材料处理、工厂系统以及与半导体行业相关的所有工厂和供应链管理领域，包括材料合成、设备制造和掩模制造。提交给本杂志的论文应该与制造实践有明确的相关性，而不是设备设计和设备特性。
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